Az első megyék az államalapítás idején jöttek létre. A megye területe egy-egy királyi vár uralmi körzetére terjedt ki, a helyi várispánságon túlmenően a határain belül fekvő királyi, egyházi és világi magánbirtokokat is magában foglalta. A helyi várispánság élén álló személy ugyanakkor azonos volt a megyét igazgató megyésispánnal, aki kettős minőségében kiterjedt katonai, bírói, gazdasági és igazgatási jogokkal rendelkezett.
 A megye ezen korai típusát szokás királyi vármegyének nevezni, melyet ispánja a helyi várispánság intézményein keresztül kormányzott. Az ispán és emberei a megye határain útvámot, a folyók átkelőhelyein hídvámot szedtek. A várfalon kívül, a váralján a hét meghatározott napján vásárt, hetipiacot tartottak.
A vármegye (latinul comitatus) a mai megye szintjén a magyar közigazgatás egysége volt I. István királytól a tanácsrendszer 1950. január 1-jén történt bevezetéséig.

 A királyi vármegye:

I. István király (997-1038) alatt a közigazgatás a kiterjedt királyi birtokok szervezeti egysége volt: az elnevezés is arra utal, hogy a várak körül jöttek létre a közigazgatás egységei. Ezek a várak többnyire a honfoglaláskori törzsfők és nemzetségfők várai voltak. A királyi vármegye élén a megyésispán (comes) állt. Ő szedte be a király érdekében az adókat, amiknek az egyharmadát megtarthatta magának, és ő szervezte meg a hadsereget, amiben a hadnagy (maior exercitus) segítette. Segítségére volt még az ispáni központ katonai parancsnoka, a várnagy (maior castri) és a bíráskodásban a bíró (udvarbíró, várbíró vagy curialis comes). A megyei hadat az ispán vagy a hadnagy vezette várjobbágyok (miles, jobagio castri) alkották, a létszám 1168-ban 400 fő volt megyénként. Az ispán és a várjobbágyok között elhelyezkedő réteg volt a szervienseké vagy királyszolgáké (serviens, minister), akik különböző, köztük egyedi feladatokat láttak el. A várnép (latinul civi.'is, suburbanus, castrensis stb.) félszabad állapotú, "paraszti" foglalkozású önálló termelő volt, aki a várnak meghatározott terménnyel adózott és bizonyos szolgálatokat teljesített.
Ami az István kori magyar vármegyék számát illeti, kb. 47 körülhatárolt területtel rendelkező vármegyével számolhatunk, ezek közül 24 volt határvármegye.  

Az első alapítású vármegyék alfabetikus rendben

   1.   Arad (a Maros két partján)
   2.   Bács (a Duna-Tisza közének déli végén)
   3.   Baranya (Eszék és Pozsega vidékével)
   4.   Bars
   5.   Békés
   6.   Bihar (Debrecen és a Kalotaszeg vidékével)
   7.   Bodrog (Bács felett Kiskunalas magasságáig)
   8.   Bolgyán (Szerém megye a marchiai esperességgel Szerém vár nélkül)
   9.   Borsod (a tornai uradalommal Szepesvárig)
  10.  Borsova (Bereg megye a zabolcsí Tísza-kanyarral)
  11.  Csanád (a Maros két partján)
  12.  Csongrád
  13.  Doboka(Észak-Erdélyben)
  14.  Erdélyi Fehérvár (az Olt vízvidékével)
  15.  Esztergom
  16.  Fejér (Solt székkel)
  17.  Gömör (Szepessel)
  18.  Győr
  19.  Hont
  20.  Karakó a Marcal két partján)
  21.  Keve (Torontál alsó részén)
  22.  Kolon (Zala)
  23.  Kolozs
  24.  Komárom
  25.  Krassó (az Al-Dunánál)
  26.  Küküllő (a Maros és Nagyküküllő között)
  27.  Moson
  28.  Nógrád
  29.  Nyitra
  30.  Pozsony
  31.  Somogy (a Drávántúllal)
  32.  Sopron
  33.  Szabolcs
  34.  Szatmár
  35.  Szolnok (a Tiszától Désig)
  36.  Temes (a Témes felső völgye Orsováig)
  37.  Tolna
  38.  Torda
  39.  Trencsén
  40.  Újvár (Heves, Abaúj és Sáros megye)
  41.  Ungvár
  42.  Valkó (Vukovár vidékén a Száváig)
  43.  Vasvár
  44.  Veszprém
  45.  Visegrád (Pest és Pilis)
  46.  Zaránd (a Fehér-Körös vízvidékén)
  47.  Zemplén

 
A határvármegyék (marchia) élén határispánok (marchio) álltak. A határvárak nem régi nemzetségi várak voltak, mint a rendes vármegyék esetén, hanem az országból kivezető utak mentén a magyar-szláv etnikai határon épített földvárak (lásd: Baranyavár, Sopron, Pozsony, Nyitra, Bars, Gömör, Borsod, Újvár, Zemplén, Borsova, Keve, Bolgyán). A határvármegye két részre oszlott, belső lakott és külső lakatlan vagy gyéren lakott részekre. A kettőt az akadályokkal teletűzdelt gyepű választotta el, amin az átjárhatóságot akadálymentes részek, kapuk biztosították. Az országot nem egyetlen gyepű határolta, a rendszert mélységében tagolt külső és belső gyepűk alkották, és a határvármegye területe sem volt feltétlenül összefüggő. A fegyveres személyzetet a lövők (portyázó lovas székely vagy besenyő könnyűíjászok) és az őrnagy vezette őrök adták.

A királyi hatalom gyengülése következtében a királyi vármegye szerepét a XIII. században a nemesi vármegye vette át. A folyamatnak az Aranybulla volt az egyik mérföldköve.

A nemesi vármegye:

A köznemesség megerősödésével a vármegye irányítása is átalakult. Az ispánt (később főispánt) ugyan továbbra is a király nevezte ki, de az alispánt és az először 1232-ben említett szolgabírákat a nemesség választotta. A szolgabírónak a szerviensek vitáinak eldöntéséből induló funkciója később őt a vármegye fontos tisztviselőjévé tette. Eleinte megyénként általában négy szolgabírót választottak. Később a járások XVI-XVIII. századi kialakulásával járásonként egy főszolgabírót és néhány alszolgalbírót. A rendi országgyűlésre a vármegyék követeket küldhettek.

A parasztvármegye:

A parasztvármegye a nemesi vármegye pótléka, a parasztság önvédelmi szervezete volt a közbiztonság fenntartása érdekében a török hódoltság idején és még ezután is rövid ideig a XVI - XVIII. század idején. Főleg a hódoltsági területen a hadjáratok útvonalán és a peremvidékeken működött, ahol a nemesi vármegye intézményei nem működtek, vagy nem voltak elég hatékonyak. Törvények is segítették működésüket, amik bizonyos esetekben lehetővé tették a jobbágyoknak, hogy leszámoljanak a kóborló és fosztogató katonákkal és szabad hajdúkkal.

A szomszéd falvak összefogásából nőtt ki, a XVI-XVII. század fordulóján kezdett intézményesülni, amikor egy-egy járás küldöttei megbeszélésekre gyűltek össze. A környék tekintélyesebb emberei közül hadnagyokat és kapitányokat választottak a nagyobb, tizedeseket a kisebb egységek élére. A közös gyűléseken bírói ítélkezéseket is tartottak.

A nemesi vármegyék a XVII. században kezdték visszanyerni befolyásukat a hódoltsági területek felett is, ekkor szerették volna a parasztvármegyéket is maguk alá rendelni, különösen a Császár Péter-féle felkelés (1631-32) után. 1649-ben Heves, Nógrád, Pest-Pilis-Solt-Kiskun vármegyék közös utasításukban a parasztvármegyéket maguk alá rendelték, a paraszthadnagyok kinevezési jogát az alispán kezébe adták. Megpróbálták a parasztvármegyét mintegy "önkéntes rendőrséggé" alakítani az irányításuk alatt, ami végül a hódoltság befejeződése után vezetett sikerre, a paraszthadnagyok és tizedesek vármegyei alkalmazottak lettek. Feladatukat a XVIII-XIX. század fordulóján a csendbiztosok és pandúrok vették át.

A polgári vármegye:

A kiegyezés után, 1870-ben végrehajtott reform - többek között - elválasztotta egymástól a bíráskodást és a közigazgatást.

A Magyar Királyság vármegyéi (1896)

    * Abaúj-Torna
    * Alsó-Fehér
    * Arad
    * Árva
    * Bács-Bodrog
    * Baranya
    * Bars
    * Békés
    * Bereg
    * Beszterce-Naszód
    * Bihar
    * Borsod
    * Brassó
    * Csanád
    * Csík
    * Csongrád
    * Esztergom
    * Fejér
    * Fogaras
    * Gömör-Kishont
    * Győr
    * Hajdú
    * Háromszék
    * Heves
    * Hont
    * Hunyad
    * Jász-Nagykun-Szolnok
    * Kis-Küküllő
    * Kolozs
    * Komárom
    * Krassó-Szörény
    * Liptó
    * Máramaros
    * Maros-Torda
    * Moson
    * Nagy-Küküllő
    * Nógrád
    * Nyitra
    * Pest-Pilis-Solt-Kiskun
    * Pozsony
    * Sáros
    * Somogy
    * Sopron
    * Szabolcs
    * Szatmár
    * Szeben
    * Szepes
    * Szilágy
    * Szolnok-Doboka
    * Temes
    * Tolna
    * Torda-Aranyos
    * Torontál
    * Trencsén
    * Turóc
    * Udvarhely
    * Ugocsa
    * Ung
    * Vas
    * Veszprém
    * Zala
    * Zemplén
    * Zólyom

Horvát-Szlavónország:

    * Belovár-Kőrös
    * Lika-Krbava
    * Modrus-Fiume
    * Pozsega
    * Szerém
    * Varasd
    * Verőce
    * Zágráb

Magyarország vármegyéi 1881 és 1918 között

A trianoni békeszerződés (1920. június 4.) súlyosan érintette a vármegyerendszert is: számos vármegye teljes egészében, számos vármegye pedig részben az utódállamokhoz került. A Magyarországon maradó vármegyék neve ugyan elvileg változatlan maradt, de több esetben új megyeszékhelyről kellett gondoskodni.

Közigazgatási térkép 1936

Az 1950-es megyerendezés – a járásrendezéssel együtt – a tanácsrendszer magyarországi bevezetését megalapozó közigazgatási területi reform egyik eleme volt. Fő célja a szovjet mintára kialakítandó tanácsok számára alkalmas kereteket biztosító közigazgatási területi egységeknek a létrehozása volt. Ezzel összhangban minden mai megyét érintett, hasonló méretű módosításra korábban nemigen volt példa.
A rendezés eredményeként az ország a korábbi 25 megye és 14 törvényhatósági jogú város helyett 19 megyére és Budapestre oszlott, vagyis e közigazgatási területi egységek száma mintegy a felére csökkent. Emellett az új beosztás mind területi, mint népességi szempontból kiegyenlítettebb volt az addiginál.
A II. világháborút követően az 1945-ös megyerendezés során kisebb-nagyobb módosítások történtek a megyei beosztásban. Ezek egy részét a magyar államterület újbóli megváltozása tette elkerülhetetlenné, és lényegében az 1938 előtti állapot visszaállítását jelentették, más részük már reformelemeket is tartalmazott a történelmileg kialakult megyehatárok legkirívóbb ésszerűtlenségeinek megszüntetésére, viszont e döntések egy részének tényleges végrehajtására nem került sor. Ezek a változtatások azonban továbbra sem léptek túl a legszükségesebb mértéken, és az így kialakult megyebeosztást még mindig alkalmatlannak vélték a tanácsrendszer bevezetésére. Ezért került sor a teljes körű átalakításra 1950 folyamán.
Az 1950-ben kialakult megyerendszer nagyobb részben több mint fél évszázada alig változott, amire nem volt példa Magyarország történelmének utolsó három évszázadában. Megyeszékhely áthelyezésére egyetlen alkalommal került sor: 1962-ben Szeged vette át Csongrád megye székhelyének szerepét Hódmezővásárhelytől. A megyehatárok néhány helyen kisebb mértékben módosultak néhány község átcsatolásával, az egyetlen nagyobb léptékű változás Keszthely és a Keszthelyi járás visszacsatolása volt Veszprémtől Zala megyéhez 1978 végén. Kisebb jelentőségű, de az ország közigazgatási térképén látványos nyomot hagyó változás volt, hogy 1992-ben, 1999-ben és 2002-ben Veszprém megye egyes települései átkerültek Győr-Moson-Sopron megyébe.
1954-ben Debrecen, Miskolc, Pécs és Szeged városokat megyei jogú városként kiemelték megyéik fennhatósága alól, 1971-ben azonban ez a helyzet megszűnt. Egyidejűleg azonban létrehozták a megyei városi jogállást az említett négy város és egy ötödik, Győr számára. A megyei városok sok tekintetben kiemelt hatáskörrel rendelkeztek, de nem voltak függetlenek a megyéktől, melyekhez tartoztak. 1989-ben újabb három város (Kecskemét, Nyíregyháza és Székesfehérvár) lett megyei város, 1990-ben azonban a megyei városi jogállás megszűnt.
1990-ben négy megyét átneveztek (az új nevek: Győr-Moson-Sopron, Jász-Nagykun-Szolnok, Komárom-Esztergom és Szabolcs-Szatmár-Bereg), valamint ismét megyei jogú városok jöttek létre. Ez utóbbiak azonban a korábbiakkal ellentétben nem alkotnak önálló, a megyéktől különálló közigazgatási területi egységet és számuk jóval nagyobb: 1990-ben 20 megyei jogú város alakult, 1994-ben újabb kettő, végül 2006-ban még egy.

 
Címer   Megye neve   Megyeszékhely   Terület
(km²)  
Népesség
(fő)  
Népsűrűség
(fő/km²)  
Település  
Bács-Kiskun megye Kecskemét 8445 541 584 64 119
Baranya megye Pécs 4430 402 260 91 301
Békés megye Békéscsaba 5631 392 845 70 75
Borsod-Abaúj-Zemplén megye Miskolc 7247 739 143 102 358
Csongrád megye Szeged 4263 425 785 100 60

Fejér megye Székesfehérvár 4359 428 579 97 108
Győr-Moson-Sopron megye Győr 4208 440 138 105 182
Hajdú-Bihar megye Debrecen 6211 550 265 89 82
Heves megye Eger 3637 323 769 89 121
  Jász-Nagykun-Szolnok megye Szolnok 5582 413 174 74 78
Komárom-Esztergom megye Tatabánya 2265 315 886 139 76
Nógrád megye Salgótarján 2546 218 218 86 131
Pest megye Budapest 6393 1 124 395 176 187
Somogy megye Kaposvár 6036 334 065 55 245
Szabolcs-Szatmár-Bereg megye Nyíregyháza 5936 583 564 98 229
Tolna megye Szekszárd 3703 247 287 67 109
Vas megye Szombathely 3336 266 342 80 216
  Veszprém megye Veszprém 4493 368 519 82 217
Zala megye Zalaegerszeg 3784 269 705 78 257